电子行业超纯水解决方案

发布时间:2026-07-13 20:22:51 最后更新:2026-07-14 15:03:10 浏览次数:2

一、方案概述

电子行业生产对水质极其敏感,水中微量离子、颗粒物、有机物、细菌都会直接造成电路板短路、镀膜瑕疵、芯片良率下降。本方案采用预处理 + 双级RO反渗透 + EDI连续电除盐 + 抛光精处理成熟工业工艺,专为PCB线路板、半导体芯片、光电显示、锂电新能源、精密电子清洗场景设计,稳定产出15–18.25MΩ·cm电子级超纯水,满足高端电子制造用水标准。

整套设备全自动运行、无需酸碱再生、水质稳定波动小,适配工厂连续24小时生产,配套标准化生产与ISO三标资质,可直接用于项目验收、招投标、企业官网展示。

二、适用行业与用水标准

1、适用场景

PCB线路板生产、半导体芯片、晶圆切割、光伏硅片、光学镜片、LED显示、锂电电池、精密元器件清洗、实验室分析、电子涂装等。

2、出水水质指标(电子级)

超纯水电阻率:15–18.25 MΩ·cm(25℃)

电导率:≤0.055 μS/cm

脱盐率:≥99.99%

颗粒物(≥0.5μm):<1个/mL

TOC总有机碳:≤5ppb

无重金属、无余氯、无菌、低硅、低硼磷杂质

三、核心工艺流程(电子行业标准工艺)

原水 → 原水泵 → 多介质过滤 → 活性炭过滤 → 全自动软水器 → 精密保安过滤 → 一级RO反渗透 → 二级RO反渗透 → EDI超纯水模块 → UVTOC杀菌 → 抛光混床 → 0.22μm终端过滤 → 超纯水恒压循环供水至车间

各工段作用说明

1、预处理系统(保护后端核心设备) 石英砂过滤去除泥沙、悬浮物、胶体;活性炭吸附余氯、有机物、异色异味;全自动软水器降低原水硬度,彻底杜绝RO膜、EDI膜堆结垢,大幅降低后期维护成本。

2、双级RO反渗透(深度预脱盐) 一级、二级反渗透串联运行,脱盐率≥99%,去除绝大部分盐分、重金属、大分子杂质,将进水水质稳定控制在EDI最佳进水区间,是电子超纯水必备前置工艺。

3、EDI连续电除盐(核心脱盐单元) 无需酸碱再生、无危废污染,利用电场连续深度脱盐,稳定产出15MΩ·cm以上高纯水,替代传统混床,更环保、更省心、适合工厂连续生产。

4、终端精处理(达标18.25MΩ高纯) TOC紫外灯降解微量有机物,高端抛光树脂进一步提纯,搭配0.22μm终端除菌过滤器,彻底拦截细微颗粒与微生物,满足芯片、半导体最高用水等级。

5、全闭环循环供水 电子超纯水严禁静止存放,系统设计管路闭环循环,防止空气二氧化碳溶入导致水质衰减,保障用水点水质恒定。

四、整套设备配置清单(工业高配版)

预处理罐体:碳钢衬胶砂滤、炭滤、软化罐(自动多路阀、自动反洗)

前置保护:5μm不锈钢保安过滤器

反渗透系统:高压泵、不锈钢膜壳、进口抗污染RO膜、浓水回收系统

EDI超纯水系统:EDI膜堆、整流电源、流量压力保护组件

精处理系统:TOC紫外杀菌器、高端抛光混床、0.22μm终端过滤器

储水系统:无菌封闭式纯水箱(防尘、防二次污染)

自控系统:全套智能电控柜、在线电阻率/电导率实时监测、全自动启停、高低压保护、液位联动、自动冲洗

循环供水:恒压供水泵、全闭环循环管路




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一、方案概述

半导体芯片、晶圆制造、光刻蚀刻、封装测试等工序对水质要求达到工业用水最高等级,水中微量离子、溶解气体、有机碳、纳米级颗粒物、微量硅硼杂质,都会直接导致晶圆氧化、光刻缺陷、电路断路、芯片良率

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